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愛知県が「あいちシンクロトロン光センター」内に整備したビームラインの供用を新たに開始します ~ 次世代パワー半導体デバイスなどの開発・評価に利用 ~

 愛知県が「あいちシンクロトロン光センター※1」内に整備したビームライン※2を平成29年6月から供用開始することとしましたのでお知らせします。

 このビームラインは、愛知県が知の拠点あいち重点研究プロジェクト※3の研究開発用として整備し活用していたもので、平成29年度からは重点研究プロジェクトで使用するとともに、広く一般にも供用することとしました。

 ビームラインの特徴として、X線トポグラフィ※4の測定が可能であり、例えば材料の結晶内部を2次元画像にすることにより、結晶欠陥の観察・評価を行うことができます。主にSiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)等の次世代パワー半導体デバイス※5をはじめとする材料の開発・評価等に利用されるものであり、自動車、エネルギー、情報機器などの分野の研究開発への貢献が期待できるものです。

 利用申込みは平成29年4月24日(月曜日)から受付を開始します。多数の企業・大学等の研究者の方々の御利用をお待ちしています。

ビームライン(BL8S2)の外観ビームライン(BL8S2)の実験ハッチ内

     ビームライン(BL8S2)の外観                           ビームライン(BL8S2)の実験ハッチ内

1 新設ビームラインの機能

(1)名称:X線トポグラフィビームライン(BL8S2)

(2)光エネルギー:7~24 keV

(3)ビームサイズ:40 mm×8 mm

(4)特徴

  ア X線トポグラフィ測定が可能なビームラインであり、結晶内の欠陥を2次元画像として観察することができる。

  イ 設備の持込により、シンクロトロン光を活用した構造物の微細加工(LIGA)や試料を回転させながら測定することで、3次元構造を可視化するX線CTも可能となる。(X線CTの受入については現在調整中であり、平成29年10月頃開始を予定。)

2 利用について

(1)利用開始日

    平成29年6月1日(木曜日)から

(2)受付日時

    平成29年4月24日(月曜日)午前10時30分から随時受け付けます。

(3)利用申込方法

    ・利用相談後、利用承認申請書及び誓約書をメールにて、あいち産業科学技術総合センター共同研究支援部シンクロトロン光活用推進室へ提出して下さい。

  ●提出先メールアドレス:BL-riyou@chinokyoten.pref.aichi.jp

    ・利用承認申請書及び誓約書は、あいち産業科学技術総合センターWebページ

    (http://www.aichi-inst.jp/acist/analytical/bl8s2.html)からダウンロードできます。

    ※愛知県所有のビームラインであることから、利用手続きが他のビームラインと異なります。

3 申込先及び問合せ先

あいち産業科学技術総合センター
  共同研究支援部 シンクロトロン光活用推進室(担当:野本、中西、柴田、中川)
〒470-0356 愛知県豊田市八草町秋合1267-1
電話:0561-76-8315  FAX:0561-76-8317
mail:BL-riyou@chinokyoten.pref.aichi.jp
URL:http://www.aichi-inst.jp

【用語説明】
用語説明
※1 あいちシンクロ光センター (公財)科学技術交流財団が運営する、ナノテク分野の研究開発を支援する最先端の計測分析施設。平成25年3月に「知の拠点あいち」にオープンした。愛称:Aichi SR。産業利用を主目的としており、あいち産業科学技術総合センターが備える高度計測分析機器との相互利用を図ることにより、地域企業の技術的な課題解決を強力に支援する。
※2 ビームライン シンクロトロン光を用いて計測分析を行う測定装置。あいちシンクロトロン光センターでは、11本(共用10本、専用1本)設置している。測定するもの(試料)に合わせたビームラインを利用することにより、多種多様な分析を、汎用機器と比較して短時間かつ高精度に行える。
※3 知の拠点あいち重点研究プロジェクト 高付加価値のモノづくりを支援する研究開発拠点「知の拠点あいち」を中核に実施している産学行政の共同研究開発プロジェクト。平成23年度から27年度まで「重点研究プロジェクト(I期)」を実施し、平成28年度からは「重点研究プロジェクト(II期)」を実施。
※4 X線トポグラフィ X線を使用して結晶内の欠陥(表面欠陥、積層欠陥、スワール欠陥、スリップ転位等)や歪みなどの分布や形などを、2次元画像として撮影・観察する方法で、主に半導体分野に使用される。
※5 次世代パワー半導体デバイス 電力の制御や供給を行う半導体のことで、従来からSi(シリコン)がよく使用されているが、大幅な効率向上や小型化を目指し、GaN(窒化ガリウム)やSiC(炭化ケイ素)などの開発が進められている。

あいちシンクロトロン光センター ビームライン配置図

  あいちシンクロトロン光センター ビームライン配置図